Общий обзор

Наша компания производит силиконовый скруббер для сжигания нержавеющей стали CRS - это оборудование для очистки выхлопных газов, используемое для обработки растворимых газов, таких как силикон и аммиак, в основном для обработки выхлопных газов, образующихся в результате производства солнечных батарей и процесса осаждения в химической газовой фазе CVD.

Конструкция продукта состоит в основном из корпуса из нержавеющей стали, системы сгорания, системы промывки и системы удаления шлака. Что касается впуска, то сжатый воздух плюс свежий воздух используется для повышения эффективности и надежности работы продукта. Система распыления использует комбинацию циркуляционных насосов и автоматического пополнения воды, вентилятор принимает форму одного комплекта. Эти технологические характеристики обеспечивают большую гарантию безопасности и надежности продукции. Камера внутреннего сгорания использует специальные устройства для сброса давления, которые могут нормально работать даже при внезапном увеличении внутреннего давления и оснащены азотными входами для повышения безопасности. Что касается удаления пыли, то осажденная пыль выделяется через шлаковые отверстия методом осаждения под статическим давлением, что облегчает и повышает эффективность удаления пыли и обработки. Скорость удаления силана (SiH4), измеренная авторитетными органами, составляет ≥99,99%, а скорость очистки аммиака (NH3) и других водорастворимых газов достигает 99,99%.

The technical performance index of this product has reached the international advanced level of similar products, with good corrosion resistance, high mechanical strength, high purification efficiency, safety and reliability, low operating cost, low operating noise, easy operation and maintenance, reasonable structural design and other characteristics.

Системы контроля и меры предосторожности

● Башня очистки от горения силикона из нержавеющей стали должна обеспечивать отрицательное давление около 200 Па.

● За вакуумным насосом оборудования PECVD должен быть установлен аварийный цилиндр сгорания (см. блок - схему оборудования).

● Башня для очистки от сжигания силикона из нержавеющей стали должна использовать новую технологию, двойную вытяжку воздуха вентилятором, один за другим.

● Электрический регулирующий клапан на входе вентилятора должен быть соединен с вентилятором.

● Перед воздухозаборником вентилятора должен быть установлен дисковый клапан для управления отрицательным давлением в устройстве очистки от горения силана.

● Устройства для очистки от сжигания силана для подачи свежего воздуха должны быть оборудованы регулирующими клапанами.

● На расстоянии 1 - 1,5 м от интерфейса впускной трубы должно быть соединение через съемный порт, чтобы предотвратить удаление обломков из камеры сгорания.

Принцип работы

Данная продукция изготовлена из высококачественного сырья из нержавеющей стали, в соответствии с характеристиками контакта силана с воздухом и самовозгорания, так что силикон в камере сгорания горит в контакте с воздухом, газ после сгорания попадает в распылительную камеру башни сгорания через слой наполнителя, после распыления, так что выхлопные газы вступают в контакт с жидкостью нейтрального цикла, а затем в обезвоживающую машину для обезвоживания, из выхлопного вентилятора в атмосферу.

Таблица технических параметров